Crosslight Csuprem 2022

CSUPREM (Crosslight-SUPREM) 是基于斯坦福大学集成电路实验室开发的 SUPREM.IV.GS 代码的过程模拟软件包。 十多年来，SUPREM.IV.GS (2D) 一直被公认为集成电路 (IC) 设计过程仿真的行业标准。 Crosslight 极大地增强了 Stanford 原始代码的能力，并将其从 2D 扩展到 3D。 请参阅我们的完整版和迷你版 CSUPREM 产品手册了解更多详情……
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特点

• 可靠且灵活的下一代 2D/3D 过程模拟器
• 2D、准 3D、混合 3D 和全 3D 过程模拟
• 与 APSYS 结合使用时的 2D 和全 3D 设备仿真
• GPU 加速求解器
• 全 3D 扩散模型
• 基于堆叠和弯曲网格平面的高效网格分配
• 大大减少了网格数并缩短了计算时间
• Gauss、Pearson、SIMS 数据和用户定义的模型
• 四种不同蚀刻模型之间的自动或用户控制切换
• 应变硅、SiC 和 GaN 基材料系统
• 所有掺杂剂的激活模型
• 使用 AutoTCAD 和实验设计 (DOE) 优化设备
• 批处理

图形用户界面工具

• MaskEditor：一步到位的 3D 模拟布局设计器
• SimuCSuprem：带有内置帮助向导的仿真编辑器
• CrosslightView：用于过程和设备仿真的统一绘图界面