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IntelliSense IntelliSuite 9.0

IntelliSense 发布了面向 MEMS 社区的行业领先软件工具 IntelliSuite v9.0 的最新主要版本。新软件版本包括端到端设计和仿真包的主要更新。新的 IntelliSense v9.0 在其工艺仿真和多物理场仿真功能中采用了最先进的实现,以解决行业和研究人员在 MEMS 开发中面临的主要挑战,同时改进和优化现有算法以更有效地工作。仿真驱动的 MEMS 产品开发通过在设计和工艺开发的早期阶段突出其设计或工艺配方中的任何工艺相关瓶颈,从而减少了许多行业产品开发所涉及的时间和成本。

IntelliSuite v9.0 中的一些新功能包括:

Cross Talked DRIE 沉积和锥形形状控制

DRIE 模拟器中的锥度控制功能为客户提供了使用模型中包含的六个锥度参数精确控制过程锥度的优势。与 ARDE、滞后效应和底切控制校准一起,锥度 ccontrol 校准为您的模拟提供更高的准确性。

边角补偿和复杂材料蚀刻

IntelliSuite 工艺模拟引擎“FabSim”能够根据所使用的蚀刻平面和蚀刻剂,在各种晶体/基板的凸角底切过程中预测蚀刻前沿的准确形状。这是通过校准各种工艺的蚀刻速率分布并更新材料和蚀刻剂数据库以提供准确的模拟来实现的。材料数据库包含大量常用的晶体/基板和蚀刻剂以及它们的蚀刻速率分布数据库。

用于捕捉流程缺陷的高级网格引擎

IntelliSuite 包含先进的网格划分引擎算法,可生成精确的六角网格,以捕获 CAD 几何的复杂边界。十六进制引擎与工艺模拟器相结合,使用户能够准确捕捉模拟几何中的缺陷和边界,并导出到 FEM 求解器,以准确捕捉工艺缺陷对器件特性和性能的影响。

整体 MEMS 解决方案™
IntelliSuite 是用于 MEMS 布局设计、高级工艺仿真、FEA、参数分析、系统仿真、封装分析等的行业领先工具集。 IntelliSuite v9.0 涵盖了 MEMS 设计周期的所有方面,为 MEMS 专业人士提供了一个开创性的端到端软件解决方案。 IntelliSense 还通过其定制设计、咨询和制造服务提供全球一站式 MEMS 解决方案。 IntelliSense 的用户遍布 30 多个国家/地区,是最大的 MEMS 软件供应商,拥有自己的内部制造设施。


官方网站: https://www.intellisense.com/
软件语言: English
文件大小: 815 MB
运行环境: Windows 7/8.x/10.x

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