PROCOM (PROcesses of COMpounds) 一种提供2D与3D模拟的仿真软件,让用户观察半导体薄膜在常见的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)下的成长。在已知沉积反应器的几何形状、化学物质种类和成长环境参数中,PROCOM能够基于精细的化学动力、质量及热传导模型预测半导体薄膜成长率、组成、厚度一致性、杂质渗入率和缺陷分布.
PROCOM特性
- 多层级仿真,理想状态 2D 3D
- 无限制的反应腔结构及反应物种类数量, 包括Aistron, Emcore 和Thomas Swan等商业应用反应腔结构
- 暂态及稳态仿真 (随时间变化的生长过程)
- 器件模拟接口,可将生长出的器件结构输出给器件模拟软件
- (APSYS、PICS3D和CSUPREM) 进行电学和光学特性仿真
- 丰富的化合物及化学反应数据库
- 多量子阱结构的生长
- 支持多种化合物半导体材料生长, 包括GaAs、AlGaN、GaN、InGaAsP、InGaN, InGaP、 InAs 和 InP 等
官方网站: http://www.crosslight.com/
软件语言: English
文件大小: 243 MB
运行环境: Windows 7/8.x
评论前必须登录!
注册